工业常见有害气体排放
日期：2015-03-24来源：俊威净化浏览次数：183
有害气体种类
含酸类废气
主要来源于化学清洗工作中产生的挥发性气体。
含碱类废气主要来源于化学清洗工作中产生的挥发性气体。
毒性废气如含磷、硼、镓、砷以及四氯化硅等的废气，主要来源于化学气相沉积干蚀刻机、扩散、离子植入等工序。
工艺尾气如含H2、02等工艺尾气。
含有机溶剂废气等
生产过程中会使用多种有机物，如乙氧基全氟丁烷、全氟三丙基胺、全氟三丁基胺、全氟乙烷、丙二醇单甲基醚、异丙醇、乙醇、丁酮、丙酮、环己酮、乙醛等。这些有害物质一则污染外环境的大气，二则在进入空调系统后，对生产进一步造成危害，所以必须处理。
