目的：通过检测高效过滤器的泄漏量，发现高效过滤器及其安装的缺陷，如滤材中的小针孔，连接密封部位的缝隙等，以便及时采取补救措施。
范围：适用于洁净厂房高效、亚高效过滤器泄漏的检查。
职责：工程部
规程：
1 测试方法：尘埃粒子计数扫描巡检法。
2 测试范围：对于10000级至300000级洁净度要求的层流或乱流洁净室。包括：层流工作台、层流罩，以及设备上的高效（亚高效）过滤器。必须在现场对以下部位进行扫描巡查。
2.1 过滤器的滤材。
2.2 滤材与其框架内部的连接。
2.3 过滤器框架的密封垫和过滤器组支撑框架之间的连接。
2.4 支撑框架和墙壁或顶棚之间的连接。
3 检测仪器
3.1  Y09-4型尘埃粒子计数器。
4 原理
 根据浮游粒子在一定强度的光照射下所散射出与其粒径成一定比例关系的光通量原理，粒子散射光经光电转换变成电信号，经放大和计算机处理后被显示器显示粒子当量直径和相应粒子数量。
5 检测程序：
5.1 被检漏过滤器必须已测过风量，在设计风速的80~120%之间运行。
5.2 用尘埃粒子计数器采样头扫描过滤器的出风侧。采样头离过滤器距离约2~3cm，以5~20mm/s的速度移动，对被检过滤器整个断面、封头胶、和安装框架处进行扫描。
5.3 当周期为2min时，0.5μm粒子数≥20粒/L，表明泄漏量超标，需要修补或更换。
5.4 用环氧树脂胶堵漏或紧固螺栓后，再进行扫描巡检。
6 检测频度
6.1 在安装或更换高效过滤器时应进行检测。
6.2 正常使用情况下，每年至少检测一次。
7 被检过滤器要填写“高效、亚高效过滤器检测记录”