在采用活性炭过滤器吸附法净化含碳氢化合物的废气时，一般其流程应包括以下部分。
        预处理部分,在吸的过程中，一般采用粒状或柱状活性炭。因此应预先除去进气中的固体颗粒物及液滴，这样以保证碳层具有合适的孔隙率，来减少气体通过的阻力。
        吸附部分一般采用固定床吸附器，为了保证连续处理废气，因此常采用2-3个吸附器并联操作。
        吸附剂再生部分吸附剂吸附能力将逐渐降低，为了保证吸附效率需要对失去吸附能力的吸附剂进行再生。
        吸附剂再组方替：①热再生；②降压再生；③通气吹扫再生；④置换脱附再生；⑤化学再生。
       
        用活性炭过滤器吸附有机化合物时，常采用的是水蒸气脱附法使活性炭再生，它主要是利用有机化合物与水的不相互溶解性，经脱附、分离后回收有机溶剂。而有些有机溶剂被活性炭过滤器吸附后，用水蒸气脱附难，则采用其他方法进行再生。
       溶剂回收部分  对于不溶于水的溶剂的回收，一般经冷凝、静置后其自然与水分层，这样便于回收；而对于易溶于水的溶剂来说，其与水不能自然分层，因此应采用精馏的方法对溶剂进行回收，对处理量小的水溶性溶剂也可与水一起掺人煤炭中送锅炉烧掉。